合肥皓宇芯光科技有限公司-皓宇芯光

核心技术

以创新壁垒铸就核心优势，用持续迭代定义行业未来

高效率高次谐波发生器(HHG)

高次谐波产生技术是利用强激光脉冲与非线性介质（如稀有气体）相互作用，经过隧穿电离、电子吸收光子加速、电子-离子实复合发光等经典三步过程，将基频光高阶奇数次倍频为系列离散的谐波光，可实现覆盖从软X射线（SXR）、极紫外（EUV）、真空紫外(VUV)直至红外波段的激光输出（梳齿状准连续光谱）,在阿秒科学、内层电子激发光谱学、水窗成像以及超快电子动力学研究中具有重要应用。

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高效率非线性光学系统设计与制造

皓宇芯光基于准相位匹配（QPM）与精密色散调控技术，结合非线性晶体结构优化与主动热管理方案，构建了高效率非线性波长转换技术平台。核心产品包括：光学参量放大器（OPA）、光学参量振荡器（OPO）、谐波发生器（SHG/THG/4HG）及和频（SFG）系统，支持深紫外至中红外（0.17~3 μm）波段的可定制输出，并兼容纳秒、皮秒及飞秒级脉宽范围。该技术兼具宽波段覆盖与高转换效率双重优势，可满足超快科学科研级应用、工业高功率激光加工及超快成像研究等高端需求。

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短波长光学设计与制造

皓宇芯光针对1-400nm波段（含DUV/VUV/EUV/SXR）的光学器件拥有丰富的研发经验和系统解决方案，围绕短波长特殊光学性质开发了系列光学元件产品和独家镀膜设计，包括且不限于：DUV/VUV/EUV/SXR带通滤光片；DUV/VUV/EUV/SXR截止滤光片；高效率窄带宽DUV/VUV/EUV/SXR反射镜；高效率宽带DUV/VUV/EUV反射镜；IR/Vis-DUV/VUV/EUV/SXR二向色镜；DUV/VUV/EUV/SXR高衍射效率光栅等。需要特别指出的是，除平面光学镜外，对特殊成像要求和聚焦/发散要求的各类曲面镜(球面/抛物面/双曲面/椭球面/超环面等)，也一应俱全。

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泛层级真空系统自动化实现

多真空梯度复杂系统包含多个不同真空度腔室，各腔室之间通过毛细管和直径不同的小孔实现差分，不同腔室搭配抽气速率不同的真空泵组，可实现8~9个数量级的真空过渡。该系统实现了从大气压到高真空的过渡，在半导体制造、空间模拟、材料科学和高端科研设备中广泛应用

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定制化光学/自动化模块集成

基于大靶面高灵敏度的光电二极管，皓宇芯光设计生产了一款短波长绝对功率计，覆盖1-1100nm波段，尤其补足业内在1-250nm段的空白，可满足用户在高真空环境下原位测量激光功率的需求。通过标准化设计，此功率计可匹配常规真空接口，接入束线任意位置，通过旋钮调整是否测量，非测量状态对原光路无干涉。

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激光系统精细PM

皓宇芯光在连续和脉冲(纳秒/飞秒/皮秒)激光器领域深耕多年，囊括光纤、固体、气体、准分子、染料等多类别激光器，具有丰富的搭建、维护、改装、翻新经验，覆盖各大国际知名厂商激光器。对激光系统的光、机、电控等关键核心器件有着深刻理解和较全面的原厂&替代供应链条，包括激光系统晶体、光栅、温度控制系统、湿度控制系统、电控板、镜片等均可实现再生和换新，恢复和优化激光器性能。

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产品中心

专注先进激光应用技术

鸿鹄HóngHú(软X射线SXR/阿秒AS激光系统)

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鸑鷟YuèZhuó(极紫外EUV激光系统)

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青鸾Qing Luán(真空紫外VUV激光系统)

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鸿鹄(SXR/AS)光源及可扩展束线系统

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鸑鷟EUV光源及可扩展束线系统

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青鸾VUV光源及可扩展束线系统

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解决方案

为各行业筑牢专业伺服技术根基，助推自动化设备领域加速转型升级

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关于皓宇芯光

合肥皓宇芯光科技有限公司创立于2023年，是一家专注于先进激光应用及半导体量检测核心技术开发、聚焦极紫外真空波段的核心器件、仪器和系统开发的高科技企业，由知名极紫外激光领域专家，国家海外高层次专家人才与多年行业经验人才联合创立，我们坚持以客户需求为导向，以高效服务为核心，紧密跟进学科的快速进步及发展，致力于以前沿技术驱动，推动行业进步和创新，逐步成长为世界领先的先进激光应用技术企业。

公司愿景

成为世界领先的先进激光应用技术企业
公司使命

专注先进激光应用技术，推动行业进步和创新
价值观

以人为本，勤奋进取，开放创新

新闻中心

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慕尼黑上海光博会作为亚洲激光、光学、光电行业的年度盛会，自2006年落地上海，深度链接亚洲乃至全球的激光、光学、光电行业的优质企业及买家，助力传统行业创新发展，探索光电产业的未来发展方向。

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