鸑鷟EUV光源及可扩展束线系统

鸑鷟EUV光源与束线系统无缝集成,提供10-100 nm波长范围的高精度光束控制和输出,支持窄谱线EUV激光输出。束线系统配置灵活,精准契合特定应用和研究目标,优化光子能量与通量的传输与控制,为用户提供全面且高效的支持,满足多样化应用需求。

实时采集光谱及光谱分析输出

主要特性

·全球领先的紧凑型桌面化设计，实现高性能集成·高传输效率

·高传输效率

·多功能模块化设计:支持多类模块灵活搭配，可同时实现分束、滤波、聚焦、单色化、成像、光谱测量、功率测量及泵浦-探测等多种功能

技术参数

名称 Name	鸑鷟EUV光源及可扩展束线系统
波长范围Wavelength Range	10-100 nm
多波长输出功率 Multi-wavelength Output Power	>6.26 μW(>10¹²ph/s)@41.85eV
多波长输出功率 Monochromatic Output Power	>31.3 nW(>5*10⁹ph/s)@41.85eV
相对光谱线宽Relative Spectral Linewidth(Δλ /λ )	优于1%

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